真空系統(tǒng)的各個部件，如真空室、閥、測量儀器等，相互直接連接或通過管件或彈性元件連接。部件之間可拆卸的接口必須是真空密封的。然而，在配置真空系統(tǒng)中，應(yīng)該盡可能少地使用可拆卸連接件，因為它們比不可拆卸連接件帶來更為頻繁的潛在漏點。

　　不銹鋼、鋁和鋼制成的法蘭部件可用作連接元件。不銹鋼制成的金屬軟管比厚壁橡膠或熱塑性塑料更適用于制作活動式連接件。它們是低中真空范圍及以上范圍內(nèi)絕對的必需品。

　　從低真空到高真空范圍，具有DN10至DN50公稱寬度的ISO-KF法蘭連接用于可拆卸的連接，對于DN63至DN1000的較大公稱尺寸，使用ISO-K和ISO-F法蘭。超高真空兼容的可拆卸連接為公稱寬度DN16至DN400的CF法蘭連接，相應(yīng)公稱通徑DN400至DN800的法蘭為COF法蘭。.

　　O型圈密封件和凹槽

　　當真空技術(shù)部件可拆卸地進行連接時，必須使用密封件防止外界空氣流入真空。為防止這種情況，應(yīng)根據(jù)不同的應(yīng)用范圍和壓力范圍選用不同類型的密封件。

　　O型圈是所有密封件中Z頻繁使用的。它們具有不同的材料，彈性體硬度范圍通常在65至80 Shore A。單位ShoreA作為可塑性量度標準用于軟彈性體。在同樣的作用力下，數(shù)字越高，變形率越低。作為良好的真空密封件，O型圈的適用性源自其適應(yīng)于嚙合表面細微凹凸的能力。O型圈表面必須無泄漏油脂或滑石粉、光滑、無裂縫、無刮痕。該圈應(yīng)該無縫沖壓，沖壓工具的分界點應(yīng)該在圈直徑的水平面上，并可通過研磨去除。

　　O型圈可涂上一層低蒸氣壓油脂薄膜(硅潤滑脂、礦物油基或全氟聚醚基潤滑脂)，具體取決于所討論的應(yīng)用。真空潤滑脂撫平密封面和O型圈表面上小的不平整，從而提高密封效果，特別是在變形率低的情況下。此時，應(yīng)該注意潤滑脂的蒸氣壓隨溫度大幅上升，而且蒸氣壓應(yīng)保持在所需工作壓力之下。此外，必須檢查潤滑脂的成分或少量的烴類是否與應(yīng)用兼容。在干式安裝的情況下，必須特別注意表面質(zhì)量、嚙合表面的清潔度以及密封材料。另外，變形率不應(yīng)太小，以確保O型圈與密封面之間的良好接觸。

　　O型圈的心線直徑通常為2至12mm。在英制區(qū)域，很多連接的直徑為5mm和5.33mm。一般而言，O型圈用作靜態(tài)密封。如果涉及到動態(tài)應(yīng)力，應(yīng)該使用專為此目的而制造的精密O型圈或備選的機械密封件或徑向軸密封圈。

　　除了與定心環(huán)或密封墊圈結(jié)合使用外，O型圈也可用作軸向或徑向槽。在大多數(shù)情況下，通常通過使用一個扁平法蘭和一個凹槽法蘭結(jié)合的方式將O型圈置于凹槽和沖壓法蘭之間。必須仔細標注凹槽的尺寸。這沒有普遍接受的尺寸。O型圈供應(yīng)商的尺寸表中所列尺寸只是用于定向的參考值。用戶必須根據(jù)每個具體應(yīng)用和適用性(例如，通過測試)對其進行檢查。由于外部影響，如溫度、壓力或與所用流體的反應(yīng)，彈性體會發(fā)生膨脹、收縮、硬化，甚至可以產(chǎn)生裂縫。在選擇彈性體和凹槽時，必須考慮這一情況。此外，在每個操作條件下，密封效果必須足夠好，以確保O型圈不會過度壓縮。如果由于O型圈體積增大，凹槽過滿，會損壞O型圈，或者甚至扭曲法蘭。

　　對于靜態(tài)密封，5mm線厚度的Z大壓縮應(yīng)為25%左右。直徑越小，壓縮越多，直徑越大，壓縮越小。實際上，小于15%的壓縮，特別是干式安裝，可導致密封效果不足。變形力主要是由線厚度和彈性體硬度決定的。要將厚度為5.33mm的O型圈壓縮20%，對于硬度為70 Shore A的，每毫米密封長度需要5N的力，對于硬度為80 ShoreA的，每毫米需要7N的力。

　　為了便于裝配，選擇的O型圈凹槽直徑通常稍大于O型圈的直徑。這可以使O型圈在裝配過程保持在凹槽內(nèi)。橡膠圈的長度可安全地拉伸5%。Z大伸展量取決于材料和操作條件。

　　可使用具有梯形或類似橫截面的彈性體密封件，例如，用于閥座、蓋和真空室的門。應(yīng)該標注梯形開口的尺寸，以使O型圈在插入時不被損壞，另一方面，在閥板被抬起或當打開腔門時，O型圈不會被拉出。此外，當出現(xiàn)巨大的接觸力，例如，對于大型腔門，梯形凹槽必須允許足夠的空間用于變形的O型圈，以使變形保持在限制內(nèi)。

　　要密封螺絲釘，例如加油口螺絲釘或放油塞，必須在角位置安裝O型圈。螺紋在其上端具有45°的凹槽，O型圈插入該凹槽中，然后通過螺絲釘表面進行壓縮。密封應(yīng)進行潤滑，所以在緊固時不會受到損壞。而且，安裝空間必須大于O型圈的體積。

　　在真空技術(shù)中，盡可能避免扁平墊片與平面密封相結(jié)合。對于這一點，需要一個很強的接觸力，以便密封材料能夠?qū)λ胁黄秸谋砻孢M行填充。如果使用扁平墊片，往往會發(fā)生局部密封面循環(huán)凸起的，例如，CF法蘭與FKM扁平墊片組合。

矩形槽、梯形槽和角位置上的O型圈密封件